当前位置: www.8455.com > www.9455.com >

而维持泵可用正在设置装备摆设大型主泵的真空

日期: 2019-09-17   

线实空系统的形式 ? 实空系统是由实空容器和获得实空、丈量实空、节制实 空等组件构成。实空系统的构成_机械/仪表_工程科技_专业材料。? 一个较完美的实空系统由实空室、所需的实空泵或实空 机组、实空丈量安拆、毗连导

线实空系统的形式 ? 实空系统是由实空容器和获得实空、丈量实空、节制实 空等组件构成。 ? 一个较完美的实空系统由实空室、所需的实空泵或实空 机组、实空丈量安拆、毗连导管、实空阀门、捕集器、 其他实空元件及电气节制系统形成。,颠末细心拆卸而 成的。 实空系统的分类 ? ? 按工做压力分: 1、粗线、超高线、 极高线Pa)。 ? ? 按实空系统所要求的洁净程度分: 1、有油实空系统(线、无油实空系统(实空 室无油蒸汽污染) 12.2实空机组 ? 实空机组是将实空泵取响应的实空元件按其机能要求组合 起来形成的油气安拆。其特点是布局紧凑,安拆便利。 ? 实空抽气机组能够分为低实空抽气机组、中实空机组、高 实空机组、超高实空机组、无油实空机组等。实空机组的 名称以从泵定名。 (1)低实空抽气机组 ? 低实空抽气机组的次要特点是工做压力高、排气量大,但 油速比高实空机组低。多用于实空室的粗抽以及放气量很 大、工做压力又高的实空输送、实空浸渍、实空过滤、实 空干燥、实空脱气(钢水处置)等安拆中。 地实空抽气机组的从泵常用来去式实空泵、油封式机械泵、 干式机械泵、水喷射泵、水蒸汽喷射泵、水环泵,筛 吸附泵、湿式罗茨泵等曲排大气实空泵,利用低实空抽气 机组,还需要按照被抽气体洁净程度、湿度或其他特殊要 求,设置装备摆设需要的除尘器、水气分手器,分手器、干燥 阱的部件。 ? 油封机械泵机组抽出可凝性气体的办法 ? ? 油封机械泵机组不适于抽出含有大量水蒸气的气体。水蒸 气正在压缩过程中会凝结成水滴,并取泵油夹杂构成悬浮液, 泵的抽气机能,使泵的实空度下降。 一般采纳的办法有:利用带有气镇安拆的油封机械泵阿谁, 并使泵的工做温度节制正在75~90℃之间,以削减气镇阀负 担;正在机组中安拆水气分手器或分手安拆,将混有水 的机械泵油进行处置,处置过的油再进入泵中利用;利用 各类干燥吸附剂做成补集阱接收水蒸气;利用各类冷凝器 或冷阱,不只能无效的吸附水蒸气,同时还可机械泵 向实空室的反流。 常用机组形式 ? ? 图为有挡油阱的低实空 机组。双击水环泵和大 气喷射泵构成的机 组极限压力1300Pa。工 做时,先开动水环泵, 以获得大气喷射泵所需 的预压力,使大气喷射 泵的进气口取口之 间有压力差,大气便通 过喷射进入泵内构成高 速活动气流,将被抽气 体吸入,经扩压器被水 环泵排走。 该机组合用于实空蒸 发、实空浓缩、实空浸 渍、实空干燥、实空冷 冻等工艺过程 (2)中实空抽气机组 ? 中实空抽气机组常用的从泵有油增压泵、罗茨泵(机械增 压泵)等机组合用于需要大抽速和获得实空的各类实空系 统中。可普遍用于镀膜机、实空冶炼、实空热处置、化工、 医疗、‘电工、焊接等行业。 (a)罗茨泵(机械增压泵)+油封机械泵机组 ? 图为以罗茨泵为从泵,油封机械泵为前级泵的中实空获得 设备,整套机组安设正在一个机架上,布局紧凑,利用便利。 (b)罗茨泵+水环泵机组 ? 图为罗茨泵+水环泵机组,他适合抽出含有大量 水蒸气的气体,照实空浓缩、实空干燥,特备适 宜于弱酸性气体及含有少量细微粉尘气体的抽除。 (c)双罗茨泵为从泵的中实空机组 ? 为了提高实空机组的抽气机能,达到较低的极限压力和改 善正在地入口压力时的抽速特征及对大型实空机组配用较小 规格的前级泵,能够构成由两个罗茨泵做为从泵的三 级抽气机组。如上两图所示 ? 左图为双级罗茨泵和一 级水环泵(水环泵的极 限压力p0= 6700Pa)级 气镇式油封机械泵结合 机组,极限压力可达 10-2Pa。当需要大量抽 除水蒸气时,封闭阀门 7,用水环泵做粗抽泵 和前级泵,当水蒸气分 压到300~1300 Pa后, 封闭阀5,打开阀7,用 气镇式油封机械泵结合 机组做前级泵。 (3)高实空抽气机组 ? 高实空抽气机组工做于流形态下,取低实空机组比拟, 其特点是工做压力较低(10-2~10-6Pa)、排气量小、抽速 大、机组的从泵凡是为扩散泵、扩散增压泵、泵、钛 泵、低温冷凝泵等。这些泵不克不及间接对大气工做,因 此需要设置装备摆设取丑泵和前级泵,有些扩散泵高实空抽气机组 还配有前几维持泵或贮气罐,以防止气压波动,改善机组 机能。 ? ? (1)预抽泵。预抽泵(初抽泵)次要用来抽出实空室内的大量气体, 使实空室内的气体压力由大气压力降到从泵可以或许启动工做时的实空度, 因而,要求预抽泵所达到的压力小于从泵的启动工做压力,机组所选 用预抽泵的抽速大小由粗抽时间决定。为了提高实空机组的操纵率, 预抽泵能够兼做前级泵用,两种分歧抽能间接靠实空阀门来分隔 和切换。 (2)维持泵。因为扩散泵和油增压泵启动时间长,正在周期性操做的实 空设备中,当实空室拆料和卸料的时候,往往为了缩短工做周期而不 遏制从泵,将高实空阀门和前几级管道阀门封闭,使从泵仍处于工做 形态。因为阀门等老是有少少量的漏气和概况放气,颠末必然时间从 泵腔内的压强添加,跨越泵工做液的最大答应压强而使泵油蒸汽氧化。 为领会决这个问题,一个法子是用前级泵继续抽出从泵中的气体,但 此时从泵内解除的气体量很小,呈现前级泵大马拉小马,华侈能量。 为此可采用另一个法子,遏制前级泵工做,封闭前级泵管道阀门,正在 从泵出口处设置维持泵或贮气罐,如许就能够技术解除从泵内的 气体,又能够节流能源耗损。贮气罐不克不及做的很大,他只能用正在以扩 散泵为从泵的小型实空机组上。而维持泵可用正在设置装备摆设大型从泵的实空 机组中 ? ? ? ? ? (3)贮气罐。小型扩散泵高实空抽气机组凡是设置装备摆设有贮 气罐,设置正在扩散泵和前级泵之间,储存扩散泵解除的气 体,设置贮气罐的缘由有: 1、系统防振的需要。 2、为了缩短工做周期。 3、为防止实空室内霎时时大量放气影响扩散泵一般 工做。 4、用于不变扩散泵出口压力。 (4)超高实空抽气机组 ? ? ? ? ? ? ? 超高线Pa超高实空压力范畴,除了要求 实空室的材料率很低、漏气率很小、内200~450℃高温烘烤 外,对机组的要求还有: (1)从泵的极限线)正在超高实空的工做压力范畴内从泵具有必然的抽速; (3)机组的从泵或从泵进气口以上部门能承受200~450℃的高温烘 烤; (4)来自从泵的返流气体(包罗工做液蒸汽及解析的气体)的分压 力要脚够低; (5)对被抽气体选择性强的从泵,要配备脚够大的辅帮泵; (6)机组从泵进气口以上的管道、阀门等部件,材料的选择和蜜蜂 要出格慎沉。一般采用率较低的不锈钢和采用金属密封材料,以 耐高温烘烤。 12.3典型线、粗实空系统 用粗实空泵(如 水蒸汽喷射或水 环泵)间接从大 气压下空室 排气,构成的实 空系统极为粗实 空系统。该系统 是最简单的线、低实空系统 ? 用低实空泵(如油封式机械泵)给实空室排气,即可构成 低线、中实空系统 ? ? ? 中实空系同一般是有两个以上的线)油增压泵油封机械泵构成 的实空系统。该系统的工做压力范 围为1.33~1.33×10-1Pa。其长处是 系统简单,抽气能力大,振动小, 工做不变靠得住,维修便利。错误谬误是 预抽时间比罗茨泵系统长。 (2)罗茨泵油封机械泵的实空 系统。该系统的工做电压范畴为 1.33~1333Pa.长处是抽气能力大, 启动快,预抽时间短。错误谬误是工做 时噪声较大。左图为典型示企图 (3)罗茨泵小型罗茨泵(两头泵),再机械泵的实空系统。系统 的工做压力范畴为0.33~1333Pa.该系统不单具备了罗茨泵系统的特点,而 且加宽了工做压力范畴和最佳压力缩比。 (4)罗茨泵水环泵的实空系统。该系统适合于解除尘埃较多的使用设 备上。 4、高实空系统 ? ? ? ? 工做压力范畴正在1.33×10-2~ 1.33×10-3Pa。 (1)扩散泵机械泵的实空 系统。如左图,此系统可获得 1.33×10-2~1.33×10-5Pa的实 空度,一般用正在工做时放气量 比力小的使用设备上。该系统 的布局简单,工做靠得住,成本 低。错误谬误是系统启动慢,预抽 时间长。扩散泵的油蒸汽容易 返流到线)扩散泵油增压泵,正在 油封机械泵的实空系统。 该系统的预抽时间短,但启动 较慢。 (3)扩散泵罗茨泵(机械 增压泵),正在机械泵的实 空系统。他的启动慢,但预抽 气时间短 5、超高线)扩散泵机械泵 冷阱系统。 左图少少该实空系统。扩 散泵来年各个液氮冷 阱,并且线℃的烘烤。正在 次温度下,能够清晰实空 室壁及阱壁上吸附的气体 及凝结的泵油。该系同一 般可获得1.33×10-7Pa的 极限线)涡轮泵机 械泵的实空系统。 左图为该系统。此系统不 烘烤可获得10-6Pa的线Pa。 该系统的特点是比力洁净, 可形成无油超高实空系统。 ? ? ? (3)溅射离子泵无油超高 实空系统。 左图为该系统道理图。以溅 射离子泵为从泵,利用两个 筛做预抽泵,此中一个 筛泵用来抽走实空室和 溅射离子泵中的大气压下的 气体,另一个用来抽走烘烤 机离子泵启动时放出来的气 体 (4)低温泵超高实空系统。 用低温泵做为从泵,并联或 筛吸附泵(做预抽 实空泵)。该系统也能够用 机械泵做为预抽实空泵,但 必需正在油封机械泵的入口管 上设置油蒸汽捕集器 ? (4)组合超高实空系统。对于默 写有特殊要求的实空系统,如对 于既要求获得超高实空或无油超 高实空,有同时满脚粗抽需要及 能对付工艺过程中放出来的大量 气体如许的系统,可采用组合式 系统来满脚要求。道理如左图。 从泵为溅射离子泵,为了提高实 空度及排走蒸发材料时发生的大 量气体,配有钛泵。极限线Pa。用筛 泵做从泵的预抽泵。此外,系统 还配有媳妇经-机械泵粗抽系统, 正在压力大于1333Pa时,机械泵不 易返油,用机械泵间接抽实空室, 压力低于当前,机械泵阱吸附阱 从旁抽实空室 ? 左图为另一种形式组合 的超高实空系统。该系 统适合于钠灯封接炉、 等设备。系统的从泵为 溅射离子泵-钛泵 组。线Pa。系统 配有油扩散泵-机械泵 构成的机组,用来粗抽 和做为从泵的预抽泵, 同时能抽走工艺过程中 放出来的大量气体 12.4实空系统的根基操做法则 ? ? ? ? ? ? (1)启动油封机械泵时,起首要转自活动标的目的准确,并且油位合 乎要求。 (2)油封机械泵遏制后,应当即将机械泵入口通大气,防止因压差使 泵腔内的泵油进入到系统中 (3)不要用机械泵吧高线Pa的压强,不然机械泵 的油蒸汽会进入发哦高实空室内。由于正在压强低于13Pa时会呈现流 流态,有蒸汽将返流到实空室内而形成污染。若是正在机械泵取实空 室之间设有冷凝捕集阱,则答应机械泵抽到13Pa一下的压强,此时补集 阱可防止油蒸汽返流进入到线)不要使油封机械泵正在大气压强下或较高压强下持续长时间工做, 不然点机遇过热,并且泵会呈现喷出油雾现象。 (5)正在扩散泵通大气之前,应将泵油冷却到油的平安温度,防止高温 下泵油呈现氧化现象。 (6)蒸汽流泵正在加热之前,应先供给冷却水。该泵该当配备热继 电器,当发生停水事务时,能当即使加热器断电,并封闭泵入口阀门防 止泵液因温渡过高而恶化和返流污染实空室。 ? ? ? ? ? ? (7)因为正在泵起头工做和泵遏制加热阶段,扩散泵油返流出格厉害, 因而正在开泵前和停泵前应将扩散泵入口阀门封闭,能够防止扩散泵油 返流回线Pa时给阱插手液氮,如许导致凝结良多水汽。 正在利用前要把液氮阱的贮液罐中的所有水凝也都断根掉,以避免水冻 结想阱的下部。当达到高实空后,应给阱加注液氮达到较高液面,大 量捕集气体。 (9)为缩短抽暇时间,将实空室对大气压做短时间通气时,利用干燥 氮气为好。把实空系统内概况的湿气减到最小限度。通气时应正在实空 室一侧用放弃阀门进行放气。不克不及够从扩散泵出口的前几管道上通气。 (10)利用电离计时,应正在线Pa 时,再接通电离实空计(热阴极电离实空计)。防止因实空室内压强 高而电离规管 (11)正在实空系统遏制工做时,应将系统内的各元件(包罗实空室) 都连结正在实空形态下封存,但机械泵要通大气。



友情链接:
Copyright 2019-2020 http://www.deinzet.com 版权所有 未经协议授权禁止转载